ISO 17560-2002 表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深仿形方法
作者:标准资料网 时间:2024-05-25 14:09:12 浏览:9023
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【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Secondary-ionmassspectrometry-Methodfordepthprofilingofboroninsilicon
【原文标准名称】:表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深仿形方法
【标准号】:ISO17560-2002
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2002-07
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(IX-ISO)
【起草单位】:ISO/TC201
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:硼;精整;化学分析和试验;光谱测定法;含量测定;硅;晶体;掺杂剂
【英文主题词】:Boron;Chemicalanalysisandtesting;Crystals;Determinationofcontent;Dopingagents;Finishes;Silicon;Spectrometry
【摘要】:ThisInternationalStandardspecifiesasecondary-ionmassspectrometricmethodusingmagnetic-sectororquadrupolemassspectrometersfordepthprofilingofboroninsilicon,andusingstylusprofilometryoropticalinterferometryfordepthscalecalibration.Thismethodisapplicabletosingle-crystal,poly-crystaloramorphous-siliconspecimenswithboronatomicconcentrationsbetween1×10atoms/cmand1×10atoms/cm,andtocraterdepthsof50nmordeeper.
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_40
【页数】:10P.;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深仿形方法
【标准号】:ISO17560-2002
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2002-07
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(IX-ISO)
【起草单位】:ISO/TC201
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:硼;精整;化学分析和试验;光谱测定法;含量测定;硅;晶体;掺杂剂
【英文主题词】:Boron;Chemicalanalysisandtesting;Crystals;Determinationofcontent;Dopingagents;Finishes;Silicon;Spectrometry
【摘要】:ThisInternationalStandardspecifiesasecondary-ionmassspectrometricmethodusingmagnetic-sectororquadrupolemassspectrometersfordepthprofilingofboroninsilicon,andusingstylusprofilometryoropticalinterferometryfordepthscalecalibration.Thismethodisapplicabletosingle-crystal,poly-crystaloramorphous-siliconspecimenswithboronatomicconcentrationsbetween1×10atoms/cmand1×10atoms/cm,andtocraterdepthsof50nmordeeper.
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_40
【页数】:10P.;A4
【正文语种】:英语
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